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是采用微电子微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。
除了上面介绍的几种典型MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判断的MEMS触觉传感器、MEMS生物传感器、MEMS图像传感器等。在不同环境中，MEMS传感器的技术应用也是不一样的。
MEMS传感器已在、汽车工业、医疗保健、机器人及自动化工业、太空卫星、运载火箭、航空航天设备等领域存在广泛的应用，其中消费类电子慢慢的变成了了MEMS传感器的第一大应用市场，2014年全球销售额已达30亿美元。
随着汽车、智能装备、家电类产品领域的迅速增长，MEMS传感器用量将大幅度提升。物联网云计算、大数据、智慧城市更为传感器创造了良好的市场空间，农业、环保、食品检测、智慧医疗、健康养老、可穿戴设备、机器人、3D打印也为MEMS传感器技术的提升和应用创新拓展了思路。
2014年，全球MEMS传感器市场规模为130亿美元，分析机构预计2015-2020年MEMS传感器市场将以13%年复合成长率增长，2020年将达到300亿美元。
近十年来，中国的MEMS传感器产业ECO逐步完善，已形成从研发技术、设计、生产到应用的完整体系， 部分细致划分领域已跻身世界领先水平。
据分析机构YOLE报告，2014年，全球排名前30的MEMS传感器市场厂商当中，中国占据了2个席位，瑞声科技，排名20；歌尔声学，排在第27位。从产业的角度而言，对中国MEMS传感器企业起到了很好的引导示范作用。
MEMS麦克风供应商歌尔声学（Goertek）、瑞声科技（ACC）、共达电声（Gettop）等通过购买英飞凌的MEMS和，然后自己封装；瑞声科技和歌尔声学分别是全球第二和第四大MEMS麦克风供应商，出货量占2014年全球市场的25%。
美新（MEMSIC）的加速度计和磁力计，深迪（Senodia）的磁力计和陀螺仪，明皜（MiraMEMS）加速度计、磁力计、6轴电子罗盘，矽睿（QST）加速度计和磁力计，苏州敏芯微电子MEMS麦克风。这些MEMS企业虽然有些产品出货量还比较低，但是在低端消费领域还是有了一定的竟争力。
截至2014年的统计数据，中国MEMS 传感器企业已经有190家。其中做MEMS软件与专用电路的有11家；做MEMS产品设计的有143家；做MEMS封装与测试的有16家；做MEMS前端制造工艺线年，中国重要的MEMS传感器初创企业在市场上披荆斩棘，顺利拿到了融资，未来前景可期。
100%股权。公司拟通过上述股权收购，掌握国产MEMS麦克风核心芯片研发、生产技术，提高微电声产品整体研发水平，并有效垂直整合MEMS麦克风产品产业链条，缩短新产品研究开发周期，开辟国产MEMS麦克风替代进口市场。北京卓锐微技术有限公司是一家优秀的集成电路芯片、MEMS芯片设计、研发公司，独立提供完整的MEMS麦克风核心芯片解决方案。矽立科技（
be）获得盛世投资的上亿人民币投资。（盛世投资刚收购了全球领先的纯MEMS代工厂Silex Microsystems）。矽立科技（mCube）致力于将MEMS运动传感器应用在一切可移动的物体，提供便捷的互联，从而改变消费者的生活和商业交互方式。苏州固锝电子股份有限公司子公司明皜传感A轮融资金额9500万元。明皜传感主要是做MEMS传感器的研发、设计和生产，并提供有关技术服务。基本的产品方向有：加速度计、陀螺仪（研发中）、压力传感器、磁传感器和MEMS麦克风，旨在为消费电子、
苏州敏芯微电子技术有限公司的老股东增值2000多万元。苏州敏芯微电子技术有限公司成立于2007年，是中国国内最早成立的MEMS研发公司之一。，拥有数项涉及MEMS关键技术的突破性发明和世界级科研成果。敏芯微电子的基本的产品有MEMS麦克风、压力传感器、惯性传感器等。
生产基地，消耗全球四分之一的MEMS器件，可大部分MEMS传感器仍依赖进口，就总体水平而言，国内MEMS传感器仍以中低端为主，技术相对落后，与欧美日相比，国内在整个产业的所有的环节都有差距，制造技术和封装技术越来越明显，原始性创新的产品少，导致产品的附加值和市场占有率都比较低。MEMS传感器属于集成电路行业，从集成电路行业分析看来，MEMS传感器是我们与国外差距比较小的领域，这与MEMS传感器产业整体起步较晚不无关系，而且与IC产品品种比较单一不同，MEMS传感器产品多样，创新空间巨大。
苏州敏芯微电子技术有限公司CEO李刚就表示：“客观地讲中国MEMS领域的研发水平总体上是落后于国外不少，但是我一直觉得我们有很大的机会进行局部突破。从长久来看，我一直看多国内的MEMS产业。因为MEMS产业并不遵从摩尔定律，不是一个先进工艺驱动的产业。这就从另一方面代表着，一旦国内厂商采购了专用 MEMS设备，它不必向
产业那样一直在升级更新进的设备。设备具备了，生产环节又是国内代工厂的优势，国内的市场又足够大能支撑起很多MEMS公司， 那么国内MEMS公司耐心地做好技术，那么就能带动整个产业链，达到一个很好的良性循环。”依托全球最大的消费类市场，基于本土化的优势，设计、工艺做到与国际厂商看齐，成本拥有本土优势，而技术上的支持能做到实时，这就是本土MEMS传感器厂商的竞争优势。
目前国家对MEMS传感器行业的政策支持力度非常大，本土厂商要趁着全球半导体产业增速放缓和国家全力支持MEMS产业化之际，通过并购重组加强完善整个产业链，逐步累积 MEMS领域的专利，逐步的提升国内设计及工艺技术水平，积极引进国际化人才并加快本土人才的培养。
小结：随着MEMS传感器市场的逐步扩大，在物联网机遇下，我国MEMS传感器产业将迎来巨大发展前途，布局得当有可能实现“弯道超车”， 通过几年的努力跻身全球第一阵营，实现跨越式发展。
